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半導(dǎo)體芯片行業(yè)用氫氟酸廢水輸送泵 含氟廢水提升泵 無(wú)壓燒結(jié)碳化硅襯氟F46磁力驅(qū)動(dòng)泵 襯氟離心泵
來(lái)源:上海邦泉泵業(yè) 發(fā)布時(shí)間:2024-12-04 點(diǎn)擊:

氫氟酸輸送泵 含氟廢水提升泵

上海邦泉泵業(yè)制造有限公司專業(yè)的含氟廢水輸送泵廠家。

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半導(dǎo)體行業(yè)業(yè)務(wù)涉及刻蝕、薄膜沉積、CMP、清洗、量檢測(cè)等芯片制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)的設(shè)備及零部件。半導(dǎo)體行業(yè)中產(chǎn)生氫氟酸的主要原因是在制造過(guò)程中使用氫氟酸進(jìn)行清洗和蝕刻工藝。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,氫氟酸被廣泛用于清洗和蝕刻工藝。具體來(lái)說(shuō),氫氟酸在濕法蝕刻和薄膜工序中被用來(lái)蝕刻晶片。這些工藝過(guò)程中使用的含氟化學(xué)品會(huì)產(chǎn)生含氟廢水,其中主要污染物包括pH值、氟化物和懸浮固體(SS)。

 

此外,氫氟酸在半導(dǎo)體制造中的具體應(yīng)用還包括:

清洗工藝‌:去除晶片表面的雜質(zhì)和污染物。

‌蝕刻工藝‌:通過(guò)化學(xué)反應(yīng)去除晶片表面的特定區(qū)域,形成所需的電路圖案‌。

這些工藝步驟對(duì)于制造高質(zhì)量的半導(dǎo)體器件至關(guān)重要,而氫氟酸因其強(qiáng)氧化性和腐蝕性,在這些步驟中發(fā)揮了關(guān)鍵作用。

 

碳化硅根據(jù)成型方式不同,大致可以分為四種:無(wú)壓燒結(jié)碳化硅,熱壓燒結(jié)碳化硅,熱等靜壓燒結(jié)碳化硅,反應(yīng)燒結(jié)碳化硅。

 

在介紹氟塑料磁力泵和不銹鋼磁力泵上用的碳化硅之前,我們簡(jiǎn)單了解一下4種成型方式的特點(diǎn)和區(qū)別。

 

力學(xué)性能方面,熱壓燒結(jié)和熱等靜壓燒結(jié)碳化硅的相對(duì)密度、抗張強(qiáng)度都要高一些,反應(yīng)燒結(jié)相對(duì)較低。但是碳化硅陶瓷的力學(xué)性能還能通過(guò)燒結(jié)中的添加劑的配比來(lái)進(jìn)行調(diào)節(jié)。

總體來(lái)說(shuō),無(wú)壓燒結(jié)碳化硅陶瓷的綜合性能較好,但是要低于熱壓燒結(jié)以及熱等靜壓燒結(jié)的碳化硅。簡(jiǎn)單分析完4中成型方式的碳化硅,再簡(jiǎn)單介紹一下氟塑料磁力泵和不銹鋼磁力泵上用的碳化硅材料。

 

襯F46氟塑料磁力驅(qū)動(dòng)泵或離心泵

目前在氟泵上使用的碳化硅材料主要是反應(yīng)燒結(jié)碳化硅和無(wú)壓燒結(jié)碳化硅。主要制作成磁力泵中的泵體靜環(huán)、轉(zhuǎn)子軸、葉輪軸套、隔離套軸承等幾大類產(chǎn)品。作用是起到對(duì)磨、專遞磁扭矩的作用。

一般來(lái)說(shuō)反應(yīng)燒結(jié)碳化硅的耐腐蝕性還是不錯(cuò)的,抗張強(qiáng)度方面也是完全夠用的。但是在一些特殊工況介質(zhì)中,則需要無(wú)壓燒結(jié)碳化硅的材料,例如輸送燒堿、輸送磷酸、輸送硼酸、輸送氫氟酸等介質(zhì)。究其原因是因?yàn)榉磻?yīng)燒結(jié)碳化硅中有游離態(tài)的硅單質(zhì)和二氧化硅等雜質(zhì),這些雜質(zhì)不能耐受以上介質(zhì)的腐蝕,所以這些雜質(zhì)被腐蝕后,會(huì)破壞主體結(jié)構(gòu),破壞表面光潔度,影響磁力泵的壽命。

 

CQB80-65-160F 11KW襯F46氟塑料磁力驅(qū)動(dòng)泵

CQB80-65-160F 11KW襯F46氟塑料磁力驅(qū)動(dòng)泵

 

CQB65-50-160F 5.5KW襯F46氟塑料磁力驅(qū)動(dòng)泵

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